真空ポンプ部品、半導体製造装置用部品、TCウェハー、電子部品、自動化・制御機器 / ミヤビインターナショナル

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真空ポンプ部品


真空ポンプ メンテナンス用部品


■対象
真空ポンプ部品
・ドライポンプ ・メカニカルブースターポンプ ・油回転ポンプ (ロータリー)
・スクロールポンプ ・ドライスクロールポンプ ・クライオポンプ



■製品
・メンテナンスキット (Major Kit / Seal Kit など)
真空ポンプ部品O-リング、ベアリング、シール、ベーン、ガスケット、サイトグラスなどを含む、
オーバーホールに必要な交換部品一式のキット
※キット内容はモデルにより異なります

・個別部品
ローター、ステーター、クランクシャフト、クランクピン、プレート、ギア、油面計、など


■対応モデル(代表例)
ALCATEL
2004A 2008A 2008AC 2012A 2012AC 2012CP 2020A 2020AC
2020CP 2033A 2033 2033C 2033CP 2005/C 2010/C 2021/C
2033CP+ 2033SD 2033C2 2063 2063CP 2063C 2063CP ADP30

BOC EDWARDS
E2M1.5 E2M2 E2M5 E2M8 E2M12 E2M18 E2M28 E2M40
E2M80 E2M175 E2M275 EH250 EH500 RV3 RV5 RV8
QDP40 QDP80 ESDP12 ESDP30 GVSP30 QMB250 QMB500 QMB1200

LEYBOLD
D2A D4A D8A D4B D16A D16AC D30A D30AC
D60A D60AC D90A D90AC D16B D16BCS D25B D25BCS
D40B D40BSC D65B D65BCS SV200 SV300 WA150 WA250

その他メーカー・モデルも多種取り扱っております。
価格、納期など、お気軽にお問合せください。

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