水冷三極真空管
RF電源・RPS用電子管(PAチューブ)
■特徴 ・YU191B完全互換品 ・陽極損失最大7000W ・米国製高品質 ・短納期 |
■用途 ・MKS製RF電源・RPSシステムなど 【使用装置例】 CVD装置 スパッタリング装置 エッチング装置 など ・各種工業用高周波電源設備 |
■仕様
電気的特性 | フィラメント電圧 | 7.5±0.37V | |
フィラメント電流 | 51.5A | フィラメント最大サージ電流 | 75A |
最大周波数 | 110MHz | ||
増幅率 | 160 | ||
電極間静電容量 | [フィラメント接地] Cin : 38.1pF Cout : 0.60pF Cgp : 24.0pF [グリッド接地] Cin : 38.1pF Cout : 24.00pF Cpk : 0.60pF |
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機械的特性 | 全長 | 248mm | |
幅 | 180mm | 重量 | 約2.5kg |
冷却方式 | 水冷 | ||
定格 | 陽極直流電圧 | 5000V | |
陽極直流電流 | 2.5A | 陽極損失 | 7000W |
グリッド損失 | 225W |