真空ポンプ部品、半導体製造装置用部品、TCウェハー、電子部品、自動化・制御機器 / ミヤビインターナショナル

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水冷三極真空管


RF電源・RPS用電子管(PAチューブ)


■特徴
 ・YU191B完全互換品
 ・陽極損失最大7000W   
 ・米国製高品質
 ・短納期
 
 
 
■用途
・MKS製RF電源・RPSシステムなど
  【使用装置例】
  CVD装置
  スパッタリング装置
  エッチング装置 など

・各種工業用高周波電源設備

■仕様
電気的特性  フィラメント電圧 7.5±0.37V フローメーター
フィラメント電流 51.5A
フィラメント最大サージ電流  75A
最大周波数 110MHz
増幅率 160
電極間静電容量 [フィラメント接地]   
 Cin  : 38.1pF
 Cout : 0.60pF
 Cgp  : 24.0pF
[グリッド接地]
 Cin  : 38.1pF
 Cout : 24.00pF
 Cpk  : 0.60pF
機械的特性 全長 248mm
180mm
重量 約2.5kg
冷却方式 水冷
定格 陽極直流電圧 5000V
陽極直流電流 2.5A
陽極損失 7000W
グリッド損失 225W
※仕様は予告なく変更される場合があります。


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